[发明专利]用氟硅酸生产高纯度四氟化硅的方法有效
| 申请号： | 201010529961.3 | 申请日： | 2010-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN101973553A | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 唐安江;解田;韦德举;杨丽萍;刘松林;隋岩峰;关星宇;骆吉林;喻仕瑞;高珊珊 | 申请（专利权）人： | 瓮福(集团)有限责任公司;贵州大学 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 贵阳中工知识产权代理事务所 52106 | 代理人： | 刘安宁 |
| 地址： | 550002 贵州省贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 用氟硅酸生产高纯度四氟化硅的方法，包括：①将氟硅酸与浓硫酸混合加热，产生气态混合物；②将气态混合物通入浓硫酸，除去水分；③将干燥的气态混合物通入含氟化氢的浓硫酸中，除去CO2、含氧氟硅化合物；④将气态混合物通入纯浓硫酸中，进一步除去水分、氟化氢；⑤气体混合物依次用活性炭、硅藻土过滤；⑥过滤后的四氟化硅再经过两段低温分离，调节气体温度、压力，得到液态/固态的高纯度产品；置于常温下，得到气体产品。本方法利用生产高纯度无水氟化氢过程中副产的四氟化硅制成高纯度四氟化硅产品，作为电子工业、光伏产业的晶体硅、非晶体硅原料的新来源，作为光纤行业基础原料二氧化硅的新原料来源。适用于副产氟硅酸的化工企业。 | ||
| 搜索关键词： | 硅酸 生产 纯度 氟化 方法 | ||
【主权项】：
用氟硅酸生产高纯度四氟化硅的方法，其特征包括以下步骤：第一步，将氟硅酸与浓硫酸混合加热，产生气态混合物；第二步，将气态混合物引入反应器，加入浓硫酸，除去其中的水分；第三步，将干燥的气态混合物通入含氟化氢的浓硫酸中，除去其中CO2、含氧氟硅化合物；第四步，再将气态混合物通入纯浓硫酸中，进一步除去气体中的水分、氟化氢等；第五步，气体混合物依次进入装有预先干燥的活性炭、硅藻土的过滤器中，过滤其中硫酸和硫的氧化物；第六步，过滤后的四氟化硅气体再经过两段低温分离，并通过调节气体的压力，得到液态/固态的高纯度四氟化硅；第七步，经过第六步得到的液态/固态高纯度四氟化硅，置于常温后，得到四氟化硅气体产品。
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