[发明专利]湿法处理磷矿石过程中生产高纯四氟化硅的方法

摘要

湿法处理磷矿石过程中生产高纯四氟化硅的方法，该方法包括：第一步，收集湿法处理磷矿石过程中产生的含氟气体；第二步，将含氟气体引入一加有硫酸和二氧化硅的反应器中，使气体中氟化氢转化为四氟化硅；第三步，用浓硫酸或含有HF的浓硫酸净化四氟化硅气体，除去水分和含氧氟化物；第四步，过滤其中杂质；第五步，再经两段低温分离，得到液态/固态的高纯度四氟化硅产品；第六步，经第五步得到的产品置于常温，得到气体产品。本法将湿法分解磷矿石产生的含氟气体充分回收利用，制得高纯四氟化硅，为电子工业、光伏产业的晶体硅、非晶体硅提供新的原料来源，也为光纤行业基础材料二氧化硅提供新的原料来源。适用于湿法处理磷矿石的化工企业。

主权项

湿法处理磷矿石过程中生产高纯四氟化硅的方法，其特征包括以下步骤：第一步，收集湿法处理磷矿石过程中产生的副产物‑‑含氟气体(主成分为HF、四氟化硅)；第二步，将含氟气体引入一加有硫酸和二氧化硅的反应器，使含氟气体中的氟化氢转化为四氟化硅气体；第三步，将四氟化硅气体引入净化槽，用浓硫酸或浓硫酸与氢氟酸的混合物除去气体中的水分和含氧氟化物；第四步，四氟化硅气体依次进入装有预先干燥过的活性炭、硅藻土的过滤器中过滤其中杂质；第五步，过滤后的四氟化硅气体再先后经过两段低温分离并调节气体压力，得到液态/固态的高纯度四氟化硅产品。第六步，经第五步得到的液态/固态高纯度四氟化硅产品，置于常温后，得到气体产品。