[发明专利]钨钛合金靶材加工方法和加工装置有效
申请号: | 201010530355.3 | 申请日: | 2010-10-29 |
公开(公告)号: | CN102029570A | 公开(公告)日: | 2011-04-27 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;王学泽;鲍伟江 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料有限公司 |
主分类号: | B24B37/00 | 分类号: | B24B37/00;C23C14/34 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 315400 浙江省余姚市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种钨钛合金靶材加工方法和加工装置,所述方法包括:采用粒度为120至150目的金刚石磨具对钨钛合金靶材进行机械加工,金刚石磨具转速为3500至4000转/分钟,进给量为每次不大于0.02毫米,进给速度为不大于500毫米/分钟。所述加工装置的材料中包括粒度为120至150目的金刚石。应用本发明实施例提供的加工方法,能够减少钨钛合金材靶材在加工过程中产生的崩裂缺陷,并能够明显的提高加工精度,本发明实施例提供的钨钛合金靶材加工装置的材料中,包括了硬度较高的金刚石,能够提高加工装置的整体硬度,减少钨钛合金靶材的崩裂缺陷,提高加工质量,同时减少加工装置的磨损,无需频繁的更换加工装置,提高加工效率,降低加工成本。 | ||
搜索关键词: | 钛合金 加工 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种钨钛合金靶材加工方法,其特征在于,包括:采用粒度为120至150目的金刚石磨具对钨钛合金靶材进行机械加工,金刚石磨具转速为3500至4000转/分钟,进给量为每次不大于0.02毫米,进给速度为不大于500毫米/分钟。
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