[发明专利]热声扬声器有效
申请号: | 201010535037.6 | 申请日: | 2010-11-01 |
公开(公告)号: | CN102056066A | 公开(公告)日: | 2011-05-11 |
发明(设计)人: | 约瑟夫·卢策 | 申请(专利权)人: | NXP股份有限公司 |
主分类号: | H04R23/00 | 分类号: | H04R23/00;H04R31/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王波波 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 一种热声扬声器,包括加热片(10)和多个支架条(8),所述支架条支撑加热片远离衬底(2)。所述加热片具有与每一个腔体相邻的至少一个开口(12)。在制造期间,将所述开口(12)用于刻蚀掉加热片下面的层(2、4、80)的材料。加热片下面的层可以是例如光致抗蚀剂或二氧化硅牺牲层。 | ||
搜索关键词: | 声扬 | ||
【主权项】:
一种热声扬声器,包括:衬底(2);加热片(10);以及多个支架条(8),支撑加热片(10)远离所述衬底(2),所述支架条(8)限定了支架条之间的至少一个腔体(14);其中所述加热片具有与每一个腔体相邻的至少一个开口(12)。
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