[发明专利]一种激光跟踪仪测量中环境补偿的方法有效

专利信息
申请号: 201010535206.6 申请日: 2010-11-03
公开(公告)号: CN102003935A 公开(公告)日: 2011-04-06
发明(设计)人: 李杰;吴时彬;伍凡 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所
主分类号: G01B9/00 分类号: G01B9/00;G01B11/02;G01B11/26
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 卢纪
地址: 610209 *** 国省代码: 四川;51
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摘要: 一种激光跟踪仪测量中环境补偿的方法,属于光电工程技术领域,用于激光跟踪仪在测量过程中受环境因素影响的补偿,其步骤为:(1)从激光跟踪仪内置双频激光器的出射双频激光中分光出补偿用激光;(2)将补偿用激光投射至被测件上并由角锥棱镜反射形成补偿光路;(3)在补偿光路中加入干涉元器件,使补偿光路具备双频激光干涉测距功能;(4)在补偿光路中加入分光及PSD(位置敏感探测器)元器件,使补偿光路具备PSD位移测量功能;(5)使用双频激光干涉测距数据及PSD位移测量数据对激光跟踪仪测量结果实时补偿。本发明可以解决激光跟踪仪在大尺寸、高精度在线测量中受环境因素而产生测量精度下降的问题,同时结构简单,易于实现。
搜索关键词: 一种 激光 跟踪 测量 环境 补偿 方法
【主权项】:
一种激光跟踪仪测量中环境补偿的方法,其特征在于实现步骤如下:第一步,从激光跟踪仪内置双频激光器的出射双频激光中分光出补偿用激光;第二步,将补偿用激光投射至被测件上并由角锥棱镜反射形成补偿光路;第三步,在补偿光路中加入干涉元器件,使补偿光路具备双频激光干涉测距功能;第四步,在补偿光路中加入分光器件及位置敏感探测器(PSD),使补偿光路具备PSD位移测量功能;第五步,使用双频激光干涉测距数据及PSD位移测量数据对激光跟踪仪测量结果补偿。
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