[发明专利]衬底保持器和夹具无效
| 申请号： | 201010535420.1 | 申请日： | 2010-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN102104016A | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | T·贝纳尔 | 申请（专利权）人： | S.O.I.TEC绝缘体上硅技术公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/687;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;靳强 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种衬底保持器和夹具，所述衬底保持器包括：衬底支撑件；可移动的夹紧装置，其被配置为在第一位置接合位于所述支撑件上的衬底以及在不同的位置远离衬底；定位装置，其用于使所述夹紧装置从所述第二位置向所述第一位置移动。为了防止当没有衬底位于所述支撑件上时所述夹紧装置和所述支撑件之间接触，使用限制所述夹紧装置的运动的弹性止动元件。本发明还涉及一种夹具以及一种使用所述衬底保持器和所述夹具的离子注入机。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 保持 夹具 | ||
【主权项】：
一种衬底保持器，包括：衬底支撑件(5)，可移动的夹紧装置(25)，其被配置为在第一位置接合所述衬底支撑件(5)上的衬底(51)以及在第二位置远离所述衬底，定位装置(39)，特别是弹性定位装置，其用于将所述夹紧装置(25)从所述第二位置移动到所述第一位置，以及止动装置，特别是弹性止动元件(45)，其用于在所述第二位置和所述第一位置所限定的方向上限制所述夹紧装置(25)朝向所述衬底支撑件的运动，从而即使所述衬底支撑件(5)上没有衬底，所述夹紧装置(25)也保持远离所述衬底支撑件(5)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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