[发明专利]具有多面梳状电极的双轴微机电致动器

摘要

一种具有多面梳状电极的双轴微机电致动器，包含：一第一半导体层其包含一具有梳状电极的可动件、一具有内梳状电极与外梳状电极的承载件及一具有梳状电极的固定件；一电性绝缘层；及一第二半导体层其设具有一腔体供该可动件及承载件作平面外转动。该承载件的内梳状电极与该可动件的梳状电极交错排列以及该承载件的外梳状电极与该固定件的梳状电极交错排列在由第一半导体层所界定的同一平面上以形成一水平梳状电极驱动致动器。该第二半导体层可还包含梳状电极用以与承载件的外梳状电极垂直地交错排列以形成一垂直梳状电极驱动致动器。结合该水平梳状电极驱动及垂直梳状电极驱动致动器，该可动件即能控制以进行双轴的光栅型式扫描运动。

主权项

一种具有多面梳状电极的双轴微机电致动器，其特征在于，包括：一第一半导体层；一第二半导体层，其具有一腔体；以及一电性绝缘层，其用于承载并隔离该第一半导体层及第二半导体层；其中，该第一半导体层包括：一可动件，其通过一第一对扭转枢纽连置于一承载件，该可动件具有一第一组梳状电极及一第二组梳状电极，该第一组梳状电极及第二组梳状电极设在一由该第一对扭转枢纽所界定的一第一转轴的相对边上；所述的承载件通过一第二对扭转枢纽连置于一固定件，具有一第三内梳状电极及一第四组内梳状电极设在该第一转轴的相对边上，及一第五组外梳状电极及一第六组外梳状电极设在由该第二对扭转枢纽所界定的一第二转轴的相对边上；及一固定件内具有一第七组梳状电极及一第八组梳状电极设在该第二转轴的相对边上；其中，该第一组梳状电极及第二组梳状电极分别与该第三组内梳状电极及第四组内梳状电极交错排列；该第五组外梳状电极及第六组外梳状电极分别与该第七组梳状电极及第八组梳状电极交错排列在由该第一半导体层所界定的同平面中。