[发明专利]用于化学气相沉积设备的装载室

摘要

本发明是一种用于化学气相沉积的装载室，包含一腔体，具有复数个将一基板容置其中的单组腔室，与复数个使基板输入与取出所经过的腔槽，形成在相对于单组腔室的一侧表面以及另一侧表面；以及至少一补强板，至少连接到形成有腔槽的腔体的一侧表面以及另一侧表面，强化腔体的强度以避免因在单组腔室之间的压差而产生一弯曲应力。

主权项

一种用于化学气相沉积设备的装载室，其特征在于，包含：一腔体，具有一上壁、一下壁、至少一设置在所述上壁以及所述下壁之间且大致与所述上壁以及所述下壁平行的隔墙，一越过所述上壁、所述下壁以及所述隔墙的侧壁，复数个将一基板容置在其中的内容置空间，以及连结所述隔墙与所述侧壁的至少一结合件。