[发明专利]工艺数据的传送方法、装置及系统有效
| 申请号： | 201010537614.5 | 申请日： | 2010-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN102468907A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 张继宏 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H04L1/00 | 分类号： | H04L1/00 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种工艺数据的传送方法、装置及系统，所述方法包括：预先配置各种工艺数据的类型，所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据；采集工艺过程中的工艺数据，并判断所述工艺数据的类型；如果所述工艺数据为实时性工艺数据，则每隔预置时间间隔将所述实时性工艺数据传送至上位机；如果所述工艺数据为非实时性工艺数据，则缓存所述非实时性工艺数据；且当满足预置的上传条件时，打包所述缓存的非实时性工艺数据以生成数据包；并传送所述数据包至上位机。通过本发明，减少了设备端控制软件和上层软件数据交互的通信压力，提高了数据传送的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 数据 传送 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种工艺数据的传送方法，其特征在于，包括：预先配置各种工艺数据的类型，所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据；采集工艺过程中的工艺数据，并判断所述工艺数据的类型；如果所述工艺数据为实时性工艺数据，则每隔预置时间间隔将所述实时性工艺数据传送至上位机；如果所述工艺数据为非实时性工艺数据，则缓存所述非实时性工艺数据；且当满足预置的上传条件时，打包所述缓存的非实时性工艺数据以生成数据包；并传送所述数据包至上位机。
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