[发明专利]基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法有效
| 申请号： | 201010537806.6 | 申请日： | 2010-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN101989068A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 杨宇;陈远谋;赵雪 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B17/02 | 分类号： | G05B17/02 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法，包括集气罐，集气罐设有多个气体入口，每个气体入口之后分别设有质量流量控制器，质量流量控制器设有数字通信单元，数字通信单元通过串口与主控计算机连接，进行数字通讯，主控计算机可实时控制和获取MFC的流量检测数据，直接用计算机对工艺步骤进行模拟控制，选择合适的数据存入MFC的存储器中，完成对质量流量控制器的控制，这样就省去了人工的参与过程。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 质量 流量 控制器 模拟 工艺 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基于质量流量控制器的模拟工艺系统，包括集气罐，其特征在于，所述集气罐设有多个气体入口，每个气体入口之后分别设有质量流量控制器，所述质量流量控制器设有数字通信单元，所述数字通信单元通过串口与主控计算机连接。
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