[发明专利]一种侧壁进/出气的红外气体传感器有效
申请号: | 201010540654.5 | 申请日: | 2010-11-12 |
公开(公告)号: | CN102128804A | 公开(公告)日: | 2011-07-20 |
发明(设计)人: | 李铁;刘延祥;王东平 | 申请(专利权)人: | 上海芯敏微系统技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/35 | 分类号: | G01N21/35 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 潘振甦 |
地址: | 200233 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种侧壁进/出气的红外气体传感器,依次包括敏感头、信号采集模块、信号处理模块、信号显示模块。其特征在于所述的敏感头具有侧壁进/出气,包括防尘罩1、具有侧壁进/出气兼具光学通道和气室功能的腔体2、反光镜3、反光镜4、热电堆探测器5、红外光源6、聚光镜7、加热电阻8、信号放大电路9,其中光路为第一通孔10、第二通孔11、第三通孔12、反光镜3和反光镜4组成的‘∏’形折叠光路。由于采用侧壁进/出气的方式,气室内气体和外界环境之间可以直接形成良好的对流,内外气体交换所需时间缩短,响应时间减小;光在传播的过程中经过侧壁的多次反射,增加了光程,提高了分辨率。可望广泛应用于在多种场合下的气体实时监测。 | ||
搜索关键词: | 一种 侧壁 出气 红外 气体 传感器 | ||
【主权项】:
一种侧壁进/出气的红外气体传感器,依次包括敏感头、信号采集模块、信号处理模块、信号显示模块,其特征在于所述的敏感头具有侧壁进/出气结构,它包括防尘罩(1)、具有侧壁进/出气兼具光学通道和气室功能的腔体2、右第一反光镜(3)、左第二反光镜(4)、热电堆探测器(5)、红外光源(6)、聚光镜(7)、加热电阻(8)、信号放大电路(9);①所述具有侧壁进/出气兼具光学通道和气室功能的腔体内设置由右端第一通孔(10)、前端第二通孔(11)、左端第三通孔(12)、右第一反光镜(3)和左第二反光镜(4)组成的‘∏’形折叠光路;②左端第一通孔(10)、前端第二通孔(11)和左端第三通孔(12)的侧壁设置若干个通气孔与外界进行气体交换;③右端第一通孔(10)后端设置聚光镜(7),其内安装红外光源(6);前端第二通孔(11)两端分别安装右第一反光镜(3)和左第二反光镜(4);左端第三通孔(12)后端安装热电堆探测器(5);腔体底部开凹槽(19),其内安装加热电阻(8);④热电堆探测器、红外光源直接与信号放大电路相连。
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