[发明专利]高质量氮化镓系发光二极管无效
申请号: | 201010541038.1 | 申请日: | 2010-11-10 |
公开(公告)号: | CN102064254A | 公开(公告)日: | 2011-05-18 |
发明(设计)人: | 马平;王军喜;王国宏;曾一平;李晋闽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L33/12 | 分类号: | H01L33/12;H01L33/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种氮化镓系发光二极管,其包括:一衬底;一氮化镓成核层,该氮化镓成核层制作在衬底上;一缓冲层,该缓冲层制作在氮化镓成核层上;一n型接触层,该n型接触层制作在缓冲层上,该n型接触层上面的一侧刻蚀有一台面;一n型插入层,该n型插入层制作在n型接触层远离台面一侧的内部,其上还是n型接触层;一活性发光层,该活性发光层制作在远离台面的n型接触层的上面,并覆盖所述n型接触层的部分表面;一p型电子阻挡层,该p型电子阻挡层制作在活性发光层上;一p型接触层,该p型接触层制作在p型电子阻挡层上,该p型接触层由p型氮化镓构成;一负电极,该负电极制作在n型接触层上的台面上;一正电极,该正电极制作在p型接触层上,完成氮化镓系发光二极管的制作。 | ||
搜索关键词: | 质量 氮化 发光二极管 | ||
【主权项】:
一种氮化镓系发光二极管,其包括:一衬底;一氮化镓成核层,该氮化镓成核层制作在衬底上;一缓冲层,该缓冲层制作在氮化镓成核层上;一n型接触层,该n型接触层制作在缓冲层上,该n型接触层上面的一侧刻蚀有一台面;一n型插入层,该n型插入层制作在n型接触层远离台面一侧的内部,其上还是n型接触层;一活性发光层,该活性发光层制作在远离台面的n型接触层的上面,并覆盖所述n型接触层的部分表面;一p型电子阻挡层,该p型电子阻挡层制作在活性发光层上;一p型接触层,该p型接触层制作在p型电子阻挡层上,该p型接触层由p型氮化镓构成;一负电极,该负电极制作在n型接触层上的台面上;一正电极,该正电极制作在p型接触层上,完成氮化镓系发光二极管的制作。
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