[发明专利]光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 201010541116.8 | 申请日： | 2010-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN102053495A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 市川幸司;桥本和彦;夏政焕 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 程金山 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：树脂，该树脂包含衍生自由式(I)表示的化合物的结构单元，其中R1表示C1-C6含氟烷基，R2表示氢原子或甲基，并且A表示C1-C10二价饱和烃基，并且该树脂不溶或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液；以及由式(II)表示的酸生成剂，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，X1表示单键或C1-C17二价饱和烃基，在所述C1-C17二价饱和烃基中，一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，Y1表示可以具有一个或多个取代基的C1-C36脂族烃基，等，并且Z+表示有机抗衡阳离子。 |
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| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：树脂，所述树脂包含衍生自由式(I)表示的化合物的结构单元：![]()
其中R1表示C1-C6含氟烷基，R2表示氢原子或甲基，并且A表示C1-C10二价饱和烃基，并且所述树脂不溶或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液；以及由式(II)表示的酸生成剂：![]()
其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，X1表示单键或C1-C17二价饱和烃基，在所述C1-C17二价饱和烃基中，一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，Y1表示可以具有一个或多个取代基的C1-C36脂族烃基，可以具有一个或多个取代基的C3-C36饱和环状烃基，或可以具有一个或多个取代基的C6-C36芳族烃基，并且在所述脂族烃基和所述饱和环状烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，并且Z+表示有机抗衡阳离子。
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