[发明专利]一种多晶硅还原炉有效
| 申请号： | 201010542482.5 | 申请日： | 2010-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN101973551A | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 黄国强;毛俊楠;王红星;华超 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300072 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅还原炉。在还原炉内顶部设置有顶部隔板，顶部隔板上设置有开孔和弧形凸起结构；开孔在每对导电硅芯上方，每对导电硅芯的中心线和隔板上的相应开孔的中心线在同一轴线上；每个混合气进气喷头上方设置有弧形凸起结构，每个混合气进气喷头的中心线和隔板上的相应弧形凸起结构的中心线在同一轴线上，开孔和凸起结构错开分布，隔板的中心设置有混合气出气口与混合气出气管道连接。本发明的混合气通过隔板上弧形凸起结构返混以及还原炉尾气进入顶部通过混合气出气管道排出，不影响还原炉内部的流场，喷头喷入的气体在还原炉内停留时间加长，气场分布更加均匀，有利于导电硅芯均匀地生长，避免还原炉中的倒棒问题，提高了还原炉进气的单程转化率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 | ||
【主权项】：
一种晶硅还原炉，包括中空含夹套冷却水的钟罩式双层外壳、底盘、电极、导电硅芯、电极座、混合气进气喷头、混合气出气口、外壳的冷却水进口和出口、电极的冷却水进口和电极的冷却水出口、底盘的冷却水进口和出口、底盘支架；其特征是在还原炉内顶部设置有顶部隔板(4)，顶部隔板上设置有开孔(19)和弧形凸起结构(20)；开孔(19)在每对导电硅芯上方，每对导电硅芯的中心线和隔板上的相应开孔的中心线在同一轴线上；每个混合气进气喷头上方设置有弧形凸起结构(20)，每个混合气进气喷头的中心线和隔板上的相应弧形凸起结构的中心线在同一轴线上，开孔和凸起错开分布，隔板的中心设置有混合气出气口(18)，下与混合气出气管道(16)连接。
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