[发明专利]酰胺钆配合物的合成方法及其在制备高K材料前驱体的应用无效
| 申请号： | 201010544091.7 | 申请日： | 2010-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102060865A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 沈应中;王黎君;陶弦;冯猛;汤清云;沈克成;王玉龙;方江涛 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C07F5/00 | 分类号： | C07F5/00;H01L21/28 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 李纪昌 |
| 地址： | 210016*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一系列酰胺类稀土金属钆配合物的合成方法是在惰性气体N2或者Ar2保护下，等摩尔量的酰胺配体与正丁基锂在-78℃～0℃下，反应1～5小时，反应得到酰胺锂盐；三氯化钆和酰胺锂(物质的量比为1∶3)在无水有机溶剂中，反应12～70小时后，将得到的澄清反应液抽干，经有机低极性溶剂萃取，过滤，滤液浓缩，冷冻结晶得到配合物。该类配合物具有挥发性好，活性高，合成简单，产率高，成本低等优点，作为前驱体制备得到的高K材料薄膜致密和均匀，颗粒在20nm-40nm之间。 | ||
| 搜索关键词： | 酰胺钆 配合 合成 方法 及其 制备 材料 前驱 应用 | ||
【主权项】：
1.酰胺类稀土金属钆配合物，其特征在于用式(I)表示：![]()
具有一个稀土金属钆和三个相同的酰胺类配体，其中R1＝Ph，CH3，CH2CH3，Cy，i-Pr，n-Pr，n-Bu，i-Bu，s-Bu，t-BuR2＝Ph，CH3，CH2CH3，Cy，i-Pr，n-Pr，n-Bu，i-Bu，s-Bu，t-BuR1＝R2或者R1≠R2。
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