[发明专利]用于有机器件的双层硬掩模无效
| 申请号： | 201010546549.2 | 申请日： | 2010-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN102110785A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 瑞内·怀兹;西尔维亚·罗塞利;加布里埃尔·内尔斯 | 申请（专利权）人： | 索尼公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52;H01L51/56;H01L51/50;C07C211/54;C07F1/00;C07D487/14;C07D311/82;C07D211/32;C07C50/28;C07D401/04;C07D487/22 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 李剑 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及用于有机器件的双层硬掩模，更具体地涉及一种用于制造含有活性有机层的衬底的方法，所述方法包括：提供含有有机材料第一层的衬底；在所述有机材料第一层上沉积第二层；在所述第二层上沉积第三层，其中，所述第二层在所述第三层沉积期间保护所述有机材料第一层；并且使所述第二层和所述第三层图案化，从而形成硬掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 有机 器件 双层 硬掩模 | ||
【主权项】：
一种用于制造含有活性有机层的衬底的方法，所述方法包括：提供含有有机材料第一层(3)的衬底(1)；在所述有机材料第一层(3)上沉积第二层(4)；在所述第二层(4)上沉积第三层(5)，其中，所述第二层(4)在所述第三层沉积期间保护所述有机材料第一层(3)；以及使所述第二层(4)和所述第三层(5)图案化，从而形成硬掩模。
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H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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