[发明专利]用于半导体封装工艺的芯片卸载装置有效
申请号: | 201010547376.6 | 申请日: | 2010-11-16 |
公开(公告)号: | CN102097349A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 季月香;陈祖伟 | 申请(专利权)人: | 嘉盛半导体(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 赵燕力 |
地址: | 215021 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明为一种用于半导体封装工艺的芯片卸载装置,该芯片卸载装置包括一芯片脱落腔体,芯片脱落腔体由放置薄铁环的盒体和纵向贯穿盒体的漏斗构成;盒体的上表面为一倾斜的斜面,斜面的中心部设有一开口,漏斗的上口与开口的形状相同并紧密固定在开口上,漏斗的下口穿过盒体的底板并延伸设有一出料口;在漏斗上口与斜面开口的连接部位且位于漏斗的后部侧壁的上端设有通气孔;在漏斗外侧与盒体内侧的容置空间内设有离子风扇,离子风扇的出风口由导风管连通于通气孔;在斜面上且围绕开口设有固定薄铁环的卡固构件;在斜面上且围绕开口还设有透孔。本发明可一次将大量封装好的芯片从胶带上取下,并可避免作业中产生的静电对芯片质量造成的损害。 | ||
搜索关键词: | 用于 半导体 封装 工艺 芯片 卸载 装置 | ||
【主权项】:
一种用于半导体封装工艺的芯片卸载装置,其特征在于:该芯片卸载装置至少包括一芯片脱落腔体,该芯片脱落腔体由放置薄铁环的盒体和纵向贯穿该盒体的漏斗构成;盒体的上表面为一倾斜的斜面,该斜面的中心部设有一开口,所述漏斗的上口与该开口的形状相同并紧密固定在该开口上,所述漏斗的下口穿过盒体的底板并延伸设有一出料口;在所述漏斗上口与斜面开口的连接部位且位于所述漏斗的后部侧壁的上端设有通气孔;在所述漏斗外侧与盒体内侧的容置空间内设有离子风扇,离子风扇的出风口由导风管连通于所述通气孔;在所述斜面上且围绕所述开口设有固定薄铁环的卡固构件;在所述斜面上且围绕所述开口还设有透孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造