[发明专利]一种柔性薄膜太阳电池及其制造方法

摘要

本发明公开了一种柔性薄膜太阳电池及其制造方法，该薄膜太阳电池从下到上依次由聚亚酰胺、钼背电极、铜铟铝硒光吸收层、硫化锌缓冲层、氧化锌铝窗口层和镍铝顶电极构成。本发明还公开了一种柔性薄膜太阳电池的制备方法，包括：1）采用直流磁控溅射法在聚亚酰胺基底上沉积0.3～3.0μm的钼背电极；2）采用溅射硒化法在钼背电极上沉积0.5～5.0μm的铜铟铝硒薄膜；3）在铜铟铝硒薄膜上采用射频反应溅射法生长硫化锌薄膜；4）采用直流磁控溅射法在硫化锌薄膜上生长氧化锌铝薄膜；5）采用蒸发法掩膜沉积镍铝合金薄膜。本发明大大减少了稀贵金属和有毒元素的使用，具有结构及制造工艺简单、光电转化效率高且稳定性良好等优点。

主权项

一种柔性薄膜太阳电池，从下到上依次由基底、背电极、光吸收层、缓冲层、窗口层和顶电极构成，所述的缓冲层为硫化锌薄膜，其厚度为20～100nm，所述的窗口层为氧化锌铝薄膜，其厚度为0.2～5.0μm，所述的顶电极为镍铝合金薄膜，其厚度为0.2～5.0μm，其特征在于：所述基底为聚亚酰胺，其厚度为10～100μm，所述的光吸收层为铜铟铝硒薄膜，其厚度为0.5～5.0μm，所述背电极为钼膜，其厚度为0.3～3.0μm。