[发明专利]具有在滤色片中形成的波导的图像传感器有效
| 申请号： | 201010550429.X | 申请日： | 2010-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN102097445A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 野崎秀俊;吴斐 | 申请（专利权）人： | 美商豪威科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/148 | 分类号： | H01L27/148;H01L27/146 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 姬利永 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示具有置于衬底中的像素阵列的一种图像传感器。每个像素包括光敏元件、滤色片及波导壁。这些波导壁置于滤色片中且围绕部分滤色片以通过该滤色片形成波导。这些波导壁的折射率比滤色片的折射率小。图像传感器可以是背面照明(BSI)或者是正面照明(FSI)的。在一些实施例中，金属壁可耦合至波导壁。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 片中 形成 波导 图像传感器 | ||
【主权项】：
一种图像传感器，包括：像素阵列，其置于半导体衬底中，所述像素阵列进一步包括：多个光敏元件，其置于所述半导体衬底中；多个滤色片，其置于所述半导体衬底上；以及多个波导壁，其置于所述多个滤色片中，其中所述多个波导壁围绕着所述多个滤色片形成多个波导。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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