[发明专利]硅棒加工用轮刷有效

专利信息
申请号: 201010551562.7 申请日: 2010-11-11
公开(公告)号: CN101972997A 公开(公告)日: 2011-02-16
发明(设计)人: 林德元 申请(专利权)人: 林云彩
主分类号: B24D13/10 分类号: B24D13/10
代理公司: 宁波天一专利代理有限公司 33207 代理人: 张莉华
地址: 315600 浙江省宁*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种硅棒加工用轮刷,包括固定在带有进水孔底盘上的刷毛,刷毛通过胶水和胶体层固化成整体,所述刷毛被分割成有间隙槽的刷毛块,刷毛块外周边有和刷毛块固化成整体的箍带,胶体层与底盘固定成整体,底盘上进水孔和刷毛块一一对应。冷却水通过间隙槽流入刷毛,渗透、降温效果好,刷毛不易结块,同时冷却水沿着间隙槽集中定向流动到刷毛块工作面上,能及时冲刷抛光产生的污物或颗粒及刷毛块上的污垢,箍带保证刷毛高速转动时刷毛不倒伏、不松散始终成束状,抛光去毛刺效果好,不会发生硅棒塌角现象,提高加工硅片的成品率、质量和档次;刷毛块为双重固定连接牢靠,刷毛不易脱落,底盘下有导向槽,冷却水沿轮刷转动切线方向进入导向槽集中利用。
搜索关键词: 硅棒加 工用
【主权项】:
一种硅棒加工用轮刷,包括固定在带有进水孔(6)的底盘(4)上的刷毛,其特征在于所述刷毛通过胶水和胶体层(1)固化成整体,所述刷毛被分割成有间隙槽(7)的刷毛块(3),所述刷毛块(3)外周边还有和刷毛块(3)固化成整体的箍带(2),所述胶体层(1)与所述底盘(4)固定成整体,所述底盘(4)上的进水孔(6)和刷毛块(3)一一对应。
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