[发明专利]微机械装置及装置的制造方法无效
| 申请号： | 201010553101.3 | 申请日： | 2011-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN102642803A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 栾晓健 | 申请（专利权）人： | 大连兆阳软件科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116011 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 微机械装置及装置的制造方法。该装置包括其中具有微机械部件的内腔，该方法包括以下步骤：由第一材料层形成微机械部件；在该第一材料层的至少一个表面上设置密封层，由此形成该内腔；在该腔内配置吸气剂；用阳极连接法将第一材料连接在该密封层上，并向该内腔输送惰性气体，以调节腔内压力。文中还披露了使用这种方法制成的相应装置。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种制造多层的微机械装置的方法，该装置包括其中具有微机械部件的内腔，该方法包括以下步骤：由硅层形成微机械部件；在硅的至少一个表面上设置密封层，从而形成该腔；在该腔内设置吸气剂材料；和通过阳极连接将第一材料密封于该密封层上，同时供应氮气，以调节该腔内的压力。
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