[发明专利]一种用于MEMS器件圆片的自动干燥设备有效
| 申请号： | 201010553463.2 | 申请日： | 2010-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN102062524A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 陈火 | 申请（专利权）人： | 烟台睿创微纳技术有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/04 | 分类号： | F26B15/04;F26B21/14;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 264006 山东省烟台市烟台经济技*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于MEMS器件圆片的自动干燥设备。所述自动干燥设备包括控制系统、机械运动机构、底板和透明箱体，所述透明箱体密封固定安装在底板上，所述机械运动机构固定于底板上并位于透明箱体内，所述控制系统位于透明箱体外用于控制机械运动机构对MEMS器件圆片进行干燥。本发明机械运动机构在控制系统的作用下，使圆片在相对密封的有机玻璃箱体中进行干燥，实现了MEMS器件圆片干燥的自动化，同时避免了人工方式在开放环境中操作对MEMS圆片微结构造成的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 mems 器件 自动 干燥设备 | ||
【主权项】：
一种用于MEMS器件圆片的自动干燥设备，其特征在于，所述自动干燥设备包括控制系统、机械运动机构、底板和透明箱体，所述透明箱体密封固定安装在底板上，所述机械运动机构固定于底板上并位于透明箱体内，所述控制系统位于透明箱体外用于控制机械运动机构对MEMS器件圆片进行干燥。
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