[发明专利]同轴定位激光精密加工设备

摘要

一种同轴定位激光精密加工设备，可方便地实现无衍射光束与喷嘴微孔直接祸合，用于激光精密加工的微激光束精密加工光学装置。设有激光器、可见光光源、平面镜、扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口、压力流体腔和喷嘴微孔。平面镜位于激光器及可见光光源前方，激光器发射的激光束与可见光光源的光束经平面镜祸合，扩束准直器位于平面镜前方，旋转三棱镜位于扩束准直器前方，压力流体腔位于旋转三棱镜前方，光学窗口设于压力流体腔顶部，喷嘴微孔设于压力流体腔底部，经平面镜祸合后的光束与扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口及喷嘴微孔同轴。

主权项

同轴定位激光精密加工设备，其特征在于设有激光器、可见光光源、平面镜、扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口、压力流体腔和喷嘴微孔；平面镜位于激光器及可见光光源前方，激光器发射的激光束与可见光光源的光束经平面镜祸合，扩束准直器位于平面镜前方，旋转三棱镜位于扩束准直器前方，压力流体腔位于旋转三棱镜前方，光学窗口设于压力流体腔顶部，喷嘴微孔设于压力流体腔底部，经平面镜藕合后的光束与扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口及喷嘴微孔同轴；其中 （1）所述激光器采用功率范围在瓦级至百瓦级的激光器， 可以是 1.06 μm波长的 Nd : YAG 固体激光器；（2）所述可见光光源为普通白光光源或低功率可见光波段激光，可以是 5W 卤素灯，或功率为 3mW 的 0.633 μm波长的 He ‑ Ne 激光器。