[发明专利]底盘设置多出气口的多晶硅还原炉

摘要

本发明公开的底盘设置多出气口的多晶硅还原炉，包括炉体、夹套、底盘、支座、多对电极、硅芯、混合气进气管及进气喷嘴、多个出气口及出气管、冷却系统和观察视镜等。其特征在于还原炉底盘上设置有多个出气口，出气口分圈均匀布置于底盘上。由于炉内底盘上设置有多个出气口，使得向下折返的气体和反应生成的尾气能够充满整个炉内空间，均匀的向下流动至底盘出气口排出，这样可保证整个炉内气体分布均匀。特别是在大容量还原炉内，底盘设置多出气口时，炉内气体分布均匀的优势更为显著。炉内气体分布均匀，可加快硅在硅棒表面的沉积速度，并且得到的棒状多晶硅产品上下粗细均匀，既提高了产品产量又提高了产品质量。

主权项

一种底盘设置多出气口的多晶硅还原炉，包括炉体，夹套，底盘，支座，多对电极，带有石墨头的硅芯，混合气进气管及进气喷嘴，出气口及出气管，冷却系统和观察视镜；其特征是还原炉底盘上设置多个出气口(10)，出气口分圈均匀设置在底盘上。