[发明专利]双轴直线移动微驱动装置

摘要

本发明公开了一种双轴直线移动微驱动装置，包括在Z向滑座上表面设有安装座A，安装座A内固定有Z向微致动器，Z向微致动器与Z向微动台连接，Z向微动台向上与X向滑座连接，Z向滑座的安装座A两侧设有Z向导轨条，每侧的一个Z向导轨条上设有两个Z向导轨块，Z向导轨块固定安装在X向滑座的下表面；X向滑座的上表面设有安装座B，安装座B内固定有X向微致动器，X向微致动器与X向微动台连接，X向微动台向上与XZ双轴运动平台连接，在X向滑座上表面安装座B两侧设有两个X向导轨条，每个X向导轨条上设有两个X向导轨块，X向导轨块固定安装在XZ双轴运动平台的下表面。本发明的装置，误差传递小进给精度高，平台姿态误差小。

主权项

一种双轴直线移动微驱动装置，其特征在于，包括Z向滑座（1），在Z向滑座（1）上表面中心位置设置有凸起的安装座A（14），安装座A（14）内固定安装有Z向微致动器（13），Z向微致动器（13）与Z向微动台（11）传动连接，Z向微动台（11）向上与X向滑座（4）固定连接，Z向滑座（1）的安装座A（14）两侧平行设置有Z向导轨条（2），每侧的一个Z向导轨条（2）上对应设置有两个Z向导轨块（3），四个Z向导轨块（3）固定安装在X向滑座（4）的下表面；X向滑座（4）的上表面中心位置同样设置有凸起的安装座B（15），安装座B（15）内侧面固定安装有X向微致动器（5），X向微致动器（5）与X向微动台（6）传动连接，X向微动台（6）向上与XZ双轴运动平台（9）固定连接，在X向滑座（4）上表面安装座B（15）两侧设置有两个X向导轨条（7），每个X向导轨条（7）上对应设置有两个X向导轨块（8），四个X向导轨块（8）固定安装在XZ双轴运动平台（9）的下表面。