[发明专利]一种柔性电热驱动微夹钳及制作工艺方法

摘要

本发明公开了一种柔性电热驱动微夹钳及制作工艺方法，属于微机电系统技术领域中的微执行器，特别涉及一种柔性电热驱动微夹钳及其制作工艺方法。微夹钳是具有驱动部分和钳体柔性机构两部分的一个整体结构，由SU-8胶结构层和上、下电极金属层组成，并且左右结构完全对称。驱动部分采用Λ形梁阵列，钳体柔性机构部分为10杆柔性机构。本发明制作工艺方法的步骤包括氧化、涂胶、曝光、显影、腐蚀、溅射金属。该微夹钳夹持端温度较低，采用三层对称结构，夹持过程中不会发生法向弯曲。微夹钳中的柔性机构结构新颖，运动放大倍数大，夹持物体尺寸范围大，并且为整体结构，无需装配，制作简单，有助于实现生物微操作技术的实用化。

主权项

一种柔性电热驱动微夹钳，其特征是，微夹钳是具有驱动部分和钳体柔性机构两部分的一个整体结构，由SU‑8胶结构层(1)和位于驱动部分上、下表面的上、下电极金属层(2、2’)组成，并且左右结构完全对称；驱动部分中，驱动位移杆(4)和Λ形梁阵列(3)连接，并固定在固定杆(5)上，左、右电极(6、6’)固接在固定杆(5)上；钳体柔性机构部分为10杆柔性机构，其中：左、右钳臂摇杆(16、16’)的上端为左、右夹持端(17、17’)，中下部通过左、右第5柔性铰链(15、15’)与左、右第2摇杆(11、11’)的上部铰接；左、右钳臂摇杆(16、16’)的下部通过左、右第6柔性铰链(14、14’)与左、右第3摇杆(13、13’)的上部铰接；左、右第2摇杆(11、11’)的中下部通过左、右第3柔性铰链(10、10’)与固定杆(5)的上部铰接；左、右第2摇杆(11、11’)的下部通过左、右第2柔性铰链(9、9’)与左、右第1摇杆(8、8’)的中部铰接；左、右第3摇杆(13、13’)的下部通过左、右第4柔性铰链(12、12’)与左、右第1摇杆(8、8’)的上部铰接；左、右第1摇杆(8、8’)的下部通过左、右第1柔性铰链(7、7’)与驱动位移杆(4)的上部铰接。