[发明专利]制绒槽补充均匀浓度化学试剂的装置

摘要

一种制绒槽补充均匀浓度化学试剂的装置，包括储液罐、输液管、补液泵、单向阀、流量计和制绒槽，补液泵根据制绒工艺要求将储液罐中化学试剂定量补充给制绒槽中，在储液罐中增设了搅拌泵，搅拌泵从储液罐的底部吸液，搅拌泵的出液口通过输液管伸到储液罐的上口部，搅拌泵和补液泵均由电控部分控制，在补液泵启动前3～5分钟先启动搅拌泵，使储液罐中的化学试剂溶液充分搅拌均匀，然后再由补液泵根据制绒工艺要求定时启动补液。由于搅拌泵能对储液罐中的化学试剂进行均化搅拌，使得储液罐中的溶液均匀不分层，确保每次向制绒槽中补充的化学试剂的浓度相同，保证制绒槽中制绒液满足工艺要求，从而提高了制绒工艺的稳定性，确保了硅片的制绒质量。

主权项

一种制绒槽补充均匀浓度化学试剂的装置，它包括储液罐(1)、输液管(2)、补液泵(3)、单向阀(4)、流量计(5)和制绒槽(6)，补液泵(3)、单向阀(4)和流量计(5)由输液管(2)串联后设置在储液罐(1)与制绒槽(6)之间，补液泵(3)的吸液口由输液管(2)通入储液罐(1)的底部，流量计(5)的出液口经输液管(2)通入制绒槽(6)中，其特征是：储液罐(1)中增设浓度均匀循环回路，所述浓度均匀循环回路由搅拌泵(7)和输液管(2)连接而成，搅拌泵(7)的吸液口通过输液管(2)伸到储液罐(1)的底部，搅拌泵(7)的出液口通过输液管(2)伸到储液罐(1)的上口部。