[发明专利]等浓度化学试剂补充装置无效
申请号: | 201010562079.9 | 申请日: | 2010-11-29 |
公开(公告)号: | CN102082201A | 公开(公告)日: | 2011-06-01 |
发明(设计)人: | 吴旻 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C30B33/10 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
地址: | 213200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种等浓度化学试剂补充装置,包括储液罐、输液管、补液泵、单向阀、流量计和制绒槽,在补液泵与单向阀之间设有电磁换向阀和溢流阀,溢流阀的出液口和电磁换向阀的回流口均与储液罐相通。补液泵始终处于工作状态,在补液前,电磁换向阀处于关闭状态,溢流阀处于溢流状态,从溢流阀流出的化学试剂直接冲入储液罐中,从而对储液罐中的化学试剂进行搅拌,确保储液罐中化学试剂上下层浓度均匀,补液时,电磁换向阀处于开通状态,溢流阀处于关闭状态,补液泵从储液罐中抽吸化学试剂直接送入制绒槽中,确保每次补充的化学试剂的浓度相同,保证制绒槽中制绒液满足工艺要求,从而提高了制绒工艺的稳定性,确保了硅片的制绒质量。 | ||
搜索关键词: | 浓度 化学试剂 补充 装置 | ||
【主权项】:
一种等浓度化学试剂补充装置,它包括储液罐(1)、输液管(2)、补液泵(3)、单向阀(4)、流量计(5)和制绒槽(6),补液泵(3)、单向阀(4)和流量计(5)由输液管(2)串联后设置在储液罐(1)与制绒槽(6)之间,补液泵(3)的吸液口由输液管(2)通入储液罐(1)的底部,流量计(5)的出液口经输液管(2)通入制绒槽(6)中,其特征是:在补液泵(3)与单向阀(4)之间设有电磁换向阀(7)和溢流阀(8),溢流阀(8)的出液口和电磁换向阀(7)的回流口均与储液罐(1)相通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的