[发明专利]等浓度化学试剂补充装置无效

专利信息
申请号: 201010562079.9 申请日: 2010-11-29
公开(公告)号: CN102082201A 公开(公告)日: 2011-06-01
发明(设计)人: 吴旻 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;C30B33/10
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 周祥生
地址: 213200 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种等浓度化学试剂补充装置,包括储液罐、输液管、补液泵、单向阀、流量计和制绒槽,在补液泵与单向阀之间设有电磁换向阀和溢流阀,溢流阀的出液口和电磁换向阀的回流口均与储液罐相通。补液泵始终处于工作状态,在补液前,电磁换向阀处于关闭状态,溢流阀处于溢流状态,从溢流阀流出的化学试剂直接冲入储液罐中,从而对储液罐中的化学试剂进行搅拌,确保储液罐中化学试剂上下层浓度均匀,补液时,电磁换向阀处于开通状态,溢流阀处于关闭状态,补液泵从储液罐中抽吸化学试剂直接送入制绒槽中,确保每次补充的化学试剂的浓度相同,保证制绒槽中制绒液满足工艺要求,从而提高了制绒工艺的稳定性,确保了硅片的制绒质量。
搜索关键词: 浓度 化学试剂 补充 装置
【主权项】:
一种等浓度化学试剂补充装置,它包括储液罐(1)、输液管(2)、补液泵(3)、单向阀(4)、流量计(5)和制绒槽(6),补液泵(3)、单向阀(4)和流量计(5)由输液管(2)串联后设置在储液罐(1)与制绒槽(6)之间,补液泵(3)的吸液口由输液管(2)通入储液罐(1)的底部,流量计(5)的出液口经输液管(2)通入制绒槽(6)中,其特征是:在补液泵(3)与单向阀(4)之间设有电磁换向阀(7)和溢流阀(8),溢流阀(8)的出液口和电磁换向阀(7)的回流口均与储液罐(1)相通。
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