[发明专利]石英陶瓷坩埚的制备方法有效
申请号: | 201010562142.9 | 申请日: | 2010-11-26 |
公开(公告)号: | CN102060553A | 公开(公告)日: | 2011-05-18 |
发明(设计)人: | 李飞;吕和平;王飞;何博;孙宝德 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | C04B35/66 | 分类号: | C04B35/66;C03B20/00 |
代理公司: | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人: | 王锡麟;王桂忠 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种无机非金属材料技术领域的石英陶瓷坩埚的制备方法,通过将含有固化剂的熔融石英陶瓷粉与预混液配制成浆料后,经浇注和干燥烧结后制成石英陶瓷坩埚。本发明采用颗粒级配的熔融石英粉作为原料,制备得到的坩埚化学成分均匀,具有优异的抗热震、耐高温性能以及化学稳定性,能够满足多晶硅生产的工艺要求。采用该方法制作石英陶瓷坩埚,陶瓷浆料可在室温下固化,坩埚素坯干燥速度较快,可达到石英陶瓷坩埚净近尺寸成型的目的,且工艺简单,制作周期短,成本低廉,适于产业化应用。 | ||
搜索关键词: | 石英 陶瓷 坩埚 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种石英陶瓷坩埚的制备方法,其特征在于,通过将含有固化剂的熔融石英陶瓷粉与预混液配制成浆料后,经浇注和干燥烧结后制成石英陶瓷坩埚。
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