[发明专利]封装系统及装片胶厚度控制方法有效
申请号: | 201010562960.9 | 申请日: | 2010-11-29 |
公开(公告)号: | CN102097342A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 石海忠;尹华;陶玉娟 | 申请(专利权)人: | 南通富士通微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/58 | 分类号: | H01L21/58;H01L21/56;H01L21/00 |
代理公司: | 北京市惠诚律师事务所 11353 | 代理人: | 雷志刚 |
地址: | 226006 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种封装系统及装片胶厚度控制方法。装片胶厚度控制方法包括:在框架载片台上点装片胶;将多个颗粒填充物混合在装片胶中;以及将待封装的芯片通过混合有颗粒填充物的装片胶粘结在框架载片台上。本发明在点胶和粘结步骤之间增加了将颗粒填充物混合在装片胶中的工序,以增加装片胶的厚度,避免了厚度难以控制的问题,且由于是将多个颗粒填充物混合在装片胶中,避免了装片胶厚度不均造成芯片倾斜粘结的问题,可在同一流水线上完成作业,无需在装片之前进行刷胶,减少了材料成本,也无需增加专业的生产设备,节约了成本,同时也减少了由于刷胶问题带来的崩片等问题。 | ||
搜索关键词: | 封装 系统 装片胶 厚度 控制 方法 | ||
【主权项】:
一种封装系统,包括放置有框架载片台的装片机轨道、在所述框架载片台上点装片胶的点胶头、在所述装片胶中混合多个颗粒填充物的颗粒布放器和在装片胶上放置待封装芯片的焊头,所述颗粒布放器下端设有多个供所述颗粒填充物落入所述装片胶的通孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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