[发明专利]一种具有轴端动密封结构的干式真空泵

摘要

本发明涉及干式真空泵，具体涉及一种具有轴端动密封结构的干式真空泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有至少三组转子，转子组之间用隔板隔开，在主轴和从动轴两端分别装配有轴承，所述的轴承与轴肩接触面一侧的台阶上依次设置有骨架密封和迷宫密封，骨架密封和迷宫密封之间的空间又形成气体密封,在一级腔体顶部的泵壳上开有一进气口，在两端最外侧腔体底部的泵壳上各开有一排气孔，两个排气孔通过排气流道与排气口相通。工作时，各泵腔内的工作压力沿轴向呈V型分布，提高泵的极限压力、缩短抽气时间，又可防止有害气体及颗粒对轴承的腐蚀或损坏。

主权项

一种具有轴端动密封结构的干式真空泵, 包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有至少三组转子，转子组之间用隔板隔开，中间转子所在的腔为一级腔体，中间转子两侧的转子所在的腔为二级腔体，二级腔体对称分布在一级腔体的两侧，二级腔体两侧的转子所在的腔为三级腔体，在主轴和从动轴两端分别装配有轴承，其特征在于所述的轴承与轴肩接触面一侧的台阶上依次设置有骨架密封和迷宫密封，骨架密封和迷宫密封之间的空间又形成气体密封,在一级腔体顶部的泵壳上开有一进气口，在两端最外侧腔体底部的泵壳上各开有一排气孔，两个排气孔通过排气流道与排气口相通。