[发明专利]毛刷清洗装置及其使用方法有效
| 申请号： | 201010566164.2 | 申请日： | 2010-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN102028357A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 侯宪华 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | A46B13/04 | 分类号： | A46B13/04 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及掩模版清洗领域，具体为一种毛刷清洗装置，用于掩模版清洗生产中的毛刷清洗及其使用方法，解决在其工作中出现的造成掩模版表面划伤，清洗不干净等问题。该装置设有清洗液喷嘴、DI水喷嘴、毛刷，毛刷与掩模板表面相对应，在毛刷侧面设有清洗液喷嘴和DI水喷嘴。通过采用毛刷自旋转和掩模版旋转之间的摩擦实现清洗，在毛刷清洗过程中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液，通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水。在毛刷扫描和清洗过程中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液，通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水，实现对于0.5微米以上的污染物的去除率达到百分之九十七以上，同时避免了掩模版表面的划伤缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 毛刷 清洗 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种毛刷清洗装置，其特征在于：该装置设有清洗液喷嘴、DI水喷嘴、毛刷，毛刷与掩模板表面相对应，在毛刷侧面设有清洗液喷嘴和DI水喷嘴。
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