[发明专利]红外探测器及其制作方法及多波段非制冷红外焦平面

摘要

本发明红外探测器包括基底结构、微桥结构，基底结构包括含有读出电路的硅衬底基底、两个读出电路电极、反射层，微桥结构包括微桥桥面、两个支撑柱、两个支撑桥腿。反射层位于硅衬底基底的一端面上；两个读出电路电极呈对角线分布，与反射层位于硅衬底基底的同一端面上，且互不接触；两个支撑桥腿各有一端与桥面相连，另一端经由支撑柱、读出电路电极分别与读出电路相连；使桥面悬空于反射层之上，二者之间形成光学谐振腔；桥面自光学谐振腔向上分布有支撑层、热敏层、钝化层、电磁波激发层。此外，还提供一种制作探测器的方法及多波段红外焦平面。本发明实现一种结构简单、体积小、制作工艺难度低、低成本、高成品率的多波段非制冷红外焦平面。

主权项

一种红外探测器，包括基底结构、微桥结构，所述基底结构包括含有读出电路的硅衬底基底、两个读出电路电极、反射层，所述微桥结构包括微桥桥面、两个支撑柱、两个支撑桥腿，其中，所述反射层位于所述硅衬底基底的一端面上；所述两个读出电路电极呈对角线分布，与所述反射层位于所述硅衬底基底的同一端面上，且与所述反射层互不接触；所述两个支撑桥腿各有一端与所述微桥桥面相连，另一端经由所述两个支撑柱和两个读出电路电极分别与所述硅衬底基底上的读出电路相连；使得所述微桥桥面悬空于所述反射层之上，在所述微桥桥面与所述反射层之间形成一光学谐振腔；所述微桥桥面自所述光学谐振腔向上依次分布有支撑层、热敏层、钝化层，其特征在于，所述微桥桥面还包括一电磁波激发层，所述电磁波激发层位于所述钝化层之上，与所述钝化层紧密接触。