[发明专利]固体摄像元件及其制造方法

摘要

本发明提供了一种固体摄像元件及其制造方法，所述固体摄像元件包括设置在半导体层中的光接收元件部、设置在半导体层上方由具有折射率n0的材料制成的绝缘层、以及设置在光接收元件部上方并且被绝缘层围绕的天线结构。所述天线结构由具有比绝缘层的折射率高的折射率的材料制成。已进入天线结构和绝缘层中的光的能量被集中在光接收元件部中。即使子像素(光接收元件部)的尺寸减小，本发明的固体摄像元件仍可确定地避免敏感度下降和混色发生。

主权项

一种固体摄像元件，其包括：(A)光接收元件部，其设置在半导体层中；(B)绝缘层，其由具有折射率n0的材料制成，所述绝缘层设置在所述半导体层上方；以及(C)天线结构，其设置在所述光接收元件部上方并且被所述绝缘层围绕，所述天线结构由具有比所述绝缘层的折射率n0高的折射率n1的材料制成，其中，已进入所述天线结构和所述绝缘层中的光的能量被集中在所述光接收元件部中。