[发明专利]一种应用于太阳能电池的优化钝化方法无效
| 申请号： | 201010570347.1 | 申请日： | 2010-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN102185010A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 孙伟;罗军;孙林杰;韩少鹏;麻晓园 | 申请（专利权）人： | 江阴浚鑫科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 214443 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种应用于太阳能电池的优化钝化方法，包括：将插有硅片的石墨框进行预加热；将进行过预加热的石墨框进入工艺腔，工艺腔只通入氨气；往所述工艺腔同时通入氨气和硅烷；石墨框进冷却腔进行冷却；将石墨框从冷却腔出，卸片。本发明实施例提供的优化钝化方法，在常规工艺的沉积步骤之前进行氨气的预沉积，使得氨气能够很好地覆盖样品，从而能够充分发挥H的体钝化功能，进而提高太阳能电池的转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 太阳能电池 优化 钝化 方法 | ||
【主权项】：
一种应用于太阳能电池的优化钝化方法，其特征在于，包括：将插有硅片的石墨框进行预加热；将进行过预加热的石墨框进入工艺腔，工艺腔只通入氨气；往所述工艺腔同时通入氨气和硅烷；石墨框进冷却腔进行冷却；将石墨框从冷却腔出，卸片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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