[发明专利]一种用于太阳能电池的扩散方法有效
| 申请号： | 201010570371.5 | 申请日： | 2010-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN102487100A | 公开（公告）日： | 2012-06-06 |
| 发明（设计）人： | 汪琴霞;郭建东;杨征;黄炯钰;梁慧珏;李玲玲 | 申请（专利权）人： | 浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C30B31/06;C30B31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 214443 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种用于太阳能电池的扩散方法，包括：将硅片放入扩散炉中，升温至840°～850°；向扩散炉通入体积比为0.5∶1的小氮和氧气，同时通入预设含量的氮气，扩散炉内温度保持840°～850°，时间t1为10～20分钟；向扩散炉通入体积比为0.7∶1.2的小氮和氧气，同时通入预设含量的氮气，扩散炉内温度保持850°～860°，时间t2为5～15分钟；向扩散炉通入体积比为1∶1.2的小氮和氧气，同时通入预设含量的氮气，扩散炉内温度保持860°～870°，时间t3为5～10分钟；扩散过程结束。本发明能够增大电池片的最大功率，有效地提高太阳能电池的转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 太阳能电池 扩散 方法 | ||
【主权项】：
一种用于太阳能电池的扩散方法，其特征在于，包括：A、将硅片放入扩散炉中，升温至840°～850°；B、经扩散炉管向扩散炉通入体积比为0.5∶1的小氮和氧气，同时通入预设含量扩散炉内温度保持840°～850°，时间t1为10～20分钟；C、经扩散炉管向扩散炉通入体积比为0.7∶1.2的小氮和氧气，同时通入预设含量的氮气，扩散炉内温度保持850°～860°，时间t2为5～15分钟；D、经扩散炉管向扩散炉通入体积比为1∶1.2的小氮和氧气，同时通入预设含量的氮气，扩散炉内温度保持860°～870°，时间t3为5～10分钟；E、扩散过程结束，在扩散炉降温后取出硅片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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