[发明专利]原子振荡器及制造方法有效
| 申请号： | 201010572981.9 | 申请日： | 2010-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN102118165A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 牧义之;西田哲朗 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03L7/26 | 分类号： | H03L7/26 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供原子振荡器，其能够缩短制造工序而降低单元成本。该原子振荡器(50)构成为具有：受光元件(PD)(6)，其形成在半导体基板上，具有受光部；气室层(8)，其层叠在受光元件(6)上，且在该受光部的上部形成了具有开口部(8a)的空腔(8b)；封入在空腔(8b)中的气体状的碱金属原子(5)；将开口部(8a)封闭的玻璃盖(透明部件)(4)；发光元件(VCSEL)(1)，其隔着玻璃盖(4)向碱金属原子(5)射出共振光。在受光元件(PD)(6)上具有电极(7)，在玻璃盖(4)上形成有发光元件(1)用的电极(3)。而且，经由发光元件(1)的凸块(2)将发光元件(1)与发光元件(1)用的电极(3)连接。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 振荡器 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种原子振荡器，其特征在于，该原子振荡器具有：受光元件，其具有受光部；气室层，其层叠在所述受光元件上，且在该受光部的上部形成了具有开口部的空腔；气体状的碱金属原子，其被封入在所述空腔中；透明部件，其将所述开口部封闭；以及发光元件，其隔着所述透明部件和所述碱金属原子向所述受光部射出共振光。
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