[发明专利]一种基于模型的压电陶瓷扫描器迟滞性前馈校正方法无效
| 申请号： | 201010574143.5 | 申请日： | 2010-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN102486477A | 公开（公告）日： | 2012-06-06 |
| 发明（设计）人： | 董再励;王栋;周磊;刘柱;黄富强;焦念东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G01Q30/06 | 分类号： | G01Q30/06;G06F19/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 李晓光 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压电陶瓷扫描器迟滞性前馈校正方法，包括以下步骤：使用电容位移传感器测量压电陶瓷扫描器在线性输入电压下的响应数据；对压电陶瓷扫描器的迟滞性建立数学模型；根据上述测量得到响应数据识别数学模型参数，根据数学模型参数求取逆模型的参数，建立逆模型；将逆模型的输出作为压电陶瓷扫描器的输入，对压电陶瓷扫描器进行线性化处理，完成压电陶瓷扫描器迟滞性前馈校正。本发明方法能够得到解析逆解，可以更加真实的反应扫描样本的形貌，通用性好、精确度高，具有非常重要的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 模型 压电 陶瓷 扫描器 迟滞 性前馈 校正 方法 | ||
【主权项】：
一种压电陶瓷扫描器迟滞性前馈校正方法，其特征在于包括以下步骤：使用电容位移传感器测量压电陶瓷扫描器在线性输入电压下的响应数据；对压电陶瓷扫描器的迟滞性建立数学模型；根据上述测量得到响应数据识别数学模型参数，根据数学模型参数求取逆模型的参数，建立逆模型；将逆模型的输出作为压电陶瓷扫描器的输入，对压电陶瓷扫描器进行线性化处理，完成压电陶瓷扫描器迟滞性前馈校正。
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