[发明专利]一种光栅线位移传感器有效
| 申请号： | 201010574909.X | 申请日： | 2010-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN102095378A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 张吉鹏;孟辉;吴宏圣;曾琪峰;孙强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01D3/036 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光栅线位移传感器。一种光栅线位移传感器，其包括标尺光栅、沿标尺光栅移动的滑架、设置在滑架上的光源、指示光栅和探测器，该光源发出的光线依次经过该标尺光栅及该指示光栅，形成特定的光信号，该探测器捕捉该光信号进行光电转化，从而完成位移量到光电信号的转换。该指示光栅上设置多个窗口，每一窗口内均刻划有多条刻线形成的图案，该每一刻线方向与该测量方向成一不为90°的夹角。该光栅线位移传感器能提高光电信号质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光栅 位移 传感器 | ||
【主权项】：
一种光栅线位移传感器，其包括标尺光栅、沿标尺光栅移动的滑架、设置在滑架上的光源、指示光栅和探测器，该光源发出的光线依次经过该标尺光栅及该指示光栅，形成特定的光信号，该探测器捕捉该光信号进行光电转化，从而完成位移量到光电信号的转换，其特征在于：该指示光栅上设置多个窗口，每一窗口由一个或多个刻线图案组成，每个图案内均刻划有多条刻线，该每一刻线方向与该测量方向成不为90°的夹角。
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