[发明专利]溅射靶材用钨钛合金板的制备方法无效
| 申请号： | 201010575014.8 | 申请日： | 2010-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN102002605A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 丁旭;白锋;李文超;侯军涛;黄先明;郭让民 | 申请（专利权）人： | 西安瑞福莱钨钼有限公司 |
| 主分类号： | C22C1/04 | 分类号： | C22C1/04;C22F1/02;C22F1/18;C23C14/34 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710201 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射靶材用钨钛合金板的制备方法，该方法包括以下步骤：1.将钨粉与钛粉置于三维混料器中混合，然后用冷等静压机成型，得到钨钛合金靶材生坯；2.将钨钛合金靶材生坯置于真空热压烧结炉内制备钨钛合金板坯；3.将钨钛合金板坯表面打磨光滑后切割至所需尺寸；4.将经切割后的钨钛合金板坯置于真空退火炉内退火，得到钨钛合金板。本发明制备过程充分利用钨钛合金粉末，后期只需少许机械加工即可，成品率高，制备过程中不会产生任何废料、废酸等污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 靶材用钨 钛合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种溅射靶材用钨钛合金板的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)将费氏平均粒度为3.0μm～7.0μm的钨粉与费氏平均粒度为30μm～80μm的钛粉按9∶1的质量比置于三维混料器中，在转速为80r/min～120r/min条件下混合2h～5h，然后用冷等静压机成型，得到钨钛合金靶材生坯；(2)将步骤(1)中所述钨钛合金靶材生坯置于真空热压烧结炉内，在压力为20MPa～35MPa条件下，升温1450℃～1650℃后保温2h～4h制得钨钛合金板坯；(3)将步骤(2)中所述钨钛合金板坯表面打磨光滑后切割至所需尺寸；(4)将步骤(3)中经切割后的钨钛合金板坯置于真空退火炉内，升温至1100℃～1500℃退火2h～3h，得到溅射靶材用钨钛合金板。
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