[发明专利]绝对式光栅尺有效

专利信息
申请号: 201010575398.3 申请日: 2010-12-07
公开(公告)号: CN102095379A 公开(公告)日: 2011-06-15
发明(设计)人: 曾琪峰;乔栋;孙强 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02;G01D5/347
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 张伟
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明涉及一种绝对式光栅尺,其包括一标准光栅、一光电探测器、及一光源,其中,该绝对式光栅尺进一步包括一扫描掩膜,该光源发出光线,经由该扫描掩膜射入该标准光栅,该光电探测器接收到绝对位置信号、参考位置信号及细分信号。该参考位置信号包括两路,其中一路为二半透光信号的组合,另一路为一完全不透光信号和一完全透光信号的组合。该绝对式光栅尺具有读数电路简单的优点。
搜索关键词: 绝对 光栅尺
【主权项】:
一种绝对式光栅尺,其包括一标准光栅、一光电探测器、及一光源,其特征在于:该绝对式光栅尺进一步包括一扫描掩膜,该光源发出光线,经由该扫描掩膜射入该标准光栅,该光电探测器探测由该标准光栅滤光形成的光信号,分别为绝对位置信号、参考位置信号及细分信号,其中,该参考位置信号包括两路,其中一路为两个半透光信号的组合,另一路为一完全不透光信号和一完全透光信号的组合。
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