[发明专利]绝对式光栅尺有效
申请号: | 201010575398.3 | 申请日: | 2010-12-07 |
公开(公告)号: | CN102095379A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 曾琪峰;乔栋;孙强 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01D5/347 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 张伟 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及一种绝对式光栅尺,其包括一标准光栅、一光电探测器、及一光源,其中,该绝对式光栅尺进一步包括一扫描掩膜,该光源发出光线,经由该扫描掩膜射入该标准光栅,该光电探测器接收到绝对位置信号、参考位置信号及细分信号。该参考位置信号包括两路,其中一路为二半透光信号的组合,另一路为一完全不透光信号和一完全透光信号的组合。该绝对式光栅尺具有读数电路简单的优点。 | ||
搜索关键词: | 绝对 光栅尺 | ||
【主权项】:
一种绝对式光栅尺,其包括一标准光栅、一光电探测器、及一光源,其特征在于:该绝对式光栅尺进一步包括一扫描掩膜,该光源发出光线,经由该扫描掩膜射入该标准光栅,该光电探测器探测由该标准光栅滤光形成的光信号,分别为绝对位置信号、参考位置信号及细分信号,其中,该参考位置信号包括两路,其中一路为两个半透光信号的组合,另一路为一完全不透光信号和一完全透光信号的组合。
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