[发明专利]光刻用防尘薄膜组件

摘要

光刻用防尘薄膜组件10，具有防尘薄膜组件框架3和贴附于防尘薄膜组件框架3的一个端面的防尘薄膜1以及形成在防尘薄膜组件框架3的另一端面的粘接层4。并且，粘接层4是通过固化含有在主链上具有全氟结构的直链全氟化合物的固化组成物而形成的。由此构成的防尘薄膜组件10，即使长期使用，所发生的分解气体的量也很少，能够防止在光掩模5的图案区域内析出固体异物。同时，能够抑制将光掩模5固定在防尘薄膜组件框架3上的粘接层中所含粘接剂的老化。此外，这种防尘薄膜组件10能够容易地从光掩模5上剥离下来，更换新的防尘薄膜组件10。

主权项

一种光刻用防尘薄膜组件，具有防尘薄膜组件框架、贴附于所述防尘薄膜组件框架的一个端面上的防尘薄膜以及形成在所述防尘薄膜组件框架另一端面上的粘接层，其特征在于，所述粘接层是通过固化含有在主链上具有全氟结构的直链全氟化合物的固化性组合物而形成的。