[发明专利]连续式太阳能集热板芯片真空磁控溅射镀膜生产线系统

摘要

一种连续式太阳能集热板芯片真空磁控镀膜生产线系统，它包括有上片台、防尘加热室、进片区、镀膜区、出片区、下片台、抽空装置和贯穿整条生产线系统的传动机构，其技术要点是：所述各部件依次连接，抽空系统设置在生产线系统的两侧。本发明采用模块式结构，水平卧式运送整板集热芯片，实现由大气状态到真空镀膜再到大气状态的连续式镀膜生产。它可在大面积整板太阳能芯片上获得理想的光谱选择性涂层，并且膜层均匀、理化性能好、寿命长。本发明还实现了大面积、大批量工业化生产集热板芯片选择性吸收涂层，提高生产效率，降低成本，生产过程中不会产生任何污染。

主权项

一种连续式太阳能集热板芯片真空磁控镀膜生产线系统，它包括有上片台、防尘加热室、进片区、镀膜区、出片区、下片台、抽空系统和贯穿整条生产线系统的传动机构，其特征是：所述的进片区包括有进片室、进片过渡室和进片缓冲室，镀膜区包括有沉积高反射率金属层镀膜室、沉积金属含量不同的吸收层镀膜室、沉积减反射层镀膜室和沉积保护层镀膜室，出片区包括有出片缓冲室、出片过渡室和出片室，抽空系统设置在进片区、镀膜区和出片区的两侧；所述的上片台、防尘加热室、进片室、进片过渡室、进片缓冲室、沉积高反射率金属层镀膜室、沉积金属含量不同的吸收层镀膜室、沉积减反射层镀膜室、沉积保护层镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室、出片室、下片台依次连接。