[发明专利]一种三氯氢硅精馏工艺

摘要

本发明涉及一种三氯氢硅精馏工艺，本发明是将三氯氢硅料液依次经过两个筛板精馏塔和两个填料精馏塔，进行精馏操作最后得到高纯度的三氯氢硅产品，在精馏的同时也能得到四氯化硅产品。本发明筛板精馏塔和填料精馏塔顺序的设计，以及回流比参数的设定，能提高以前工艺流程不能除去的微量杂质的去除能力，在除硼和除碳能力上有显著提高，分离效果更好，达到多晶硅厂家的要求。

主权项

一种三氯氢硅精馏工艺，其特征在于，包括以下工艺步骤：A、将三氯氢硅料液通过磁力泵，向第一精馏塔中部进料，塔顶三氯氢硅产品流到第二精馏塔中部，塔底再沸器内的四氯化硅用泵抽到成品四氯化硅贮槽； B、第二精馏塔塔顶馏出液到低沸物贮槽，塔底再沸器料液用泵抽到第三精馏塔中部进行加料；C、第三精馏塔塔顶馏出液到低沸物贮槽，塔底再沸器料液用泵抽到第四精馏塔中部加料；D、第四精馏塔塔顶馏出液到成品计量槽，再沸器料液用泵抽到粗品贮槽；所述的精馏塔的回流比为1.14:1；所述的第一精馏塔和第二精馏塔为φ500筛板精馏塔，第三精馏塔和第四精馏塔为φ700填料精馏塔。