[发明专利]基于空间相位调制的环形共光路点衍射干涉仪

摘要

本发明涉及一种基于空间相位调制的环形共光路点衍射干涉仪。包括光学匹配系统、分光镜、第一和第二反射镜、第一和第二傅立叶透镜、CCD和计算机系统；还包括在第一和第二傅立叶透镜共焦平面处添加一个含有参考针孔和测试窗口的双孔空间滤波板。待测激光被分光镜分为两束，一束通过参考针孔发生小孔衍射，产生近似理想平面波作为参考光；另一束则几乎无衰减通过测试窗口作为信号光，通过调节分光镜的倾斜角度引入空间线性载频，因此只需一幅载频干涉条纹、且不需要任何迭代过程就可快速准确地复原出待测波前相位分布。本发明采用共光路结构、无需专门的参考光、且系统稳定性强，可适用于各类波前相位动、静态检测领域。

主权项

一种基于空间相位调制的环形共光路点衍射干涉仪，包括光学匹配系统(1)、分光镜(2)、第一反射镜(3)和第二反射镜(7)、第一傅立叶透镜(4)和第二傅立叶透镜(6)、CCD探测器(8)、计算机系统(9)；其特征在于还包括在第一傅立叶透镜(4)和第二傅立叶透镜(6)组成望远镜系统的共焦平面处添加一个含参考针孔(11)和测试窗口(10)的双孔空间滤波板(5)；按照光路描述，来自光学匹配系统(1)的待测激光光束经分光镜(2)分为两束光，其中透射光束被第一反射镜(3)反射后进入第一傅立叶透镜(4)并通过在其焦平面处双孔空间滤波板(5)上的测试窗口(10)，然后进入第二傅立叶透镜(6)形成缩小光束，被第二反射镜(7)反射后再次返回分光镜(2)作为信号光；而经分光镜(2)的反射光束被第二反射镜(7)反射后进入第一傅立叶透镜(4)并通过在其焦平面处双孔空间滤波板(5)上的参考针孔发生小孔衍射，衍射光经第一傅立叶透镜(4)放大，再经第一反射镜(3)反射后被分光镜(2)再次反射作为参考光；所述信号光和参考光在相互重叠的区域发生干涉并形成干涉条纹。