[发明专利]多层套刻标记有效
| 申请号： | 201010578129.2 | 申请日： | 2010-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN102543956A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 黄玮 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G03F9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多层套刻标记，其中，所述多层套刻标记包括第一光刻层次、第二光刻层次，以及第三光刻层次，所述第一光刻层次和第二光刻层次在叠对时的套刻标记组成一复合框，所述第三光刻层次套刻标记包括设置于所述复合框外围的外框或设于所述复合框内的内框。与现有技术相比，本发明的有益效果是：减少了一次套刻测量，节省了套刻测试设备产能，加快了生产线产品流通；划片槽中可以少放置一套套刻测量标记，节省了划片槽空间。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 标记 | ||
【主权项】：
一种多层套刻标记，其特征在于：所述多层套刻标记包括第一光刻层次、第二光刻层次，以及第三光刻层次，所述第一光刻层次和第二光刻层次在叠对时的套刻标记组成一复合框，所述第三光刻层次套刻标记包括设置于所述复合框外围的外框或设于所述复合框内的内框。
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