[发明专利]薄膜晶体管基板、其制造方法及具有该基板的平板显示器

摘要

本发明公开了一种薄膜晶体管基板、其制造方法以及具有该薄膜晶体管基板的平板显示器。所述薄膜晶体管基板包括：基板，具有分别具有不同深度的多个沟槽，以具有多台阶结构；在沟槽中交替交叉的栅极线和数据线，以形成多个像素区域；形成在基板沟槽中的薄膜晶体管，以形成在栅极和数据线的交叉部分中，其中沿着栅极线和栅极形成薄膜晶体管的有源层，有源层与相邻像素区域的有源层分开，其间具有数据线。

主权项

一种薄膜晶体管基板，包括：基板，包括分别具有不同深度的多个沟槽以具有多台阶结构；栅极线和数据线，在所述沟槽中交替交叉以形成多个像素区域；薄膜晶体管，形成在所述基板的沟槽中以形成在栅极线和数据线的交叉部分中，其中，沿着栅极线和栅极形成薄膜晶体管的有源层，所述有源层与相邻像素区域的有源层分开，其间具有数据线。