[发明专利]排出口部件的制造方法以及液体排出头的制造方法有效
| 申请号： | 201010582101.6 | 申请日： | 2010-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN102152635A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 池龟健;三原弘明 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 康建忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了排出口部件的制造方法以及液体排出头的制造方法，该排出口部件的制造方法按如下顺序包括：制备至少其表面是导电性的基板，所述基板具有在所述表面上形成的用于形成排出口的第一绝缘抗蚀剂以及用于形成流路的壁的凹形部分的第二绝缘抗蚀剂，通过使用所述第一抗蚀剂和所述第二抗蚀剂作为掩模进行镀敷来在表面上形成第一镀敷层，去除所述第二抗蚀剂，在所述基板的已被去除所述第二抗蚀剂的暴露部分上形成第二镀敷层，所述第二镀敷层是通过使用所述第一抗蚀剂作为掩模进行镀敷形成的，所述第二镀敷层形成所述壁的所述凹形部分，并且去除所述第一抗蚀剂以形成所述排出口并且去除所述基板。 | ||
| 搜索关键词： | 出口 部件 制造 方法 以及 液体 出头 | ||
【主权项】：
一种用于制造排出口部件的方法，所述排出口部件用于液体排出头，从所述液体排出头排出液体，所述排出口部件包括排出所述液体的排出口以及作为所述液体的流路的壁的一部分的凹形部分，所述流路与所述排出口连通，所述方法按如下顺序包括：制备基板的步骤，至少所述基板的表面是导电性的，所述基板具有在所述表面上形成的用于形成所述排出口的第一抗蚀剂以及用于形成所述流路的所述壁的所述凹形部分的第二抗蚀剂；第一镀敷步骤，所述第一镀敷步骤通过使用所述第一抗蚀剂和所述第二抗蚀剂作为掩模进行镀敷来在所述表面上形成第一镀敷层，所述第一镀敷层形成所述排出口部件的一部分，其中所述第一抗蚀剂通过所述第一镀敷层的第一开口被暴露，并且所述第二抗蚀剂通过所述第一镀敷层的第二开口被暴露；去除所述第二抗蚀剂的步骤；第二镀敷步骤，所述第二镀敷步骤在所述基板的已被去除所述第二抗蚀剂的暴露部分上形成第二镀敷层，所述第二镀敷层是通过使用所述第一抗蚀剂作为掩模进行镀敷形成的，所述第二镀敷层形成所述壁的所述凹形部分；并且去除所述第一抗蚀剂以形成所述排出口并且去除所述基板，由此形成所述排出口部件的步骤。
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