[发明专利]一种金属防腐清洗液有效
| 申请号： | 201010582130.2 | 申请日： | 2010-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN102560510A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 张建;荆建芬;蔡鑫元 | 申请（专利权）人： | 安集微电子(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23G1/00 | 分类号： | C23G1/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示一种用于金属的防腐清洗液，其至少含有一种磷酸酯类表面活性剂。使用本发明的清洗液可以防止金属清洗中产生腐蚀或点蚀，能有效地清洗抛光残留物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 防腐 清洗 | ||
【主权项】：
一种金属防腐清洗液，其特征在于，至少含有一种或多种磷酸酯类表面活性剂。
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