[发明专利]用于大视场拼接照明的均匀性补偿装置有效
| 申请号： | 201010582214.6 | 申请日： | 2010-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN102540736A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 张祥翔 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于大视场拼接照明的均匀性补偿装置，沿光线传播的方向，依次包括：光源、出光口至少为两路的分光结构及与所述光纤出光口数目一致的中继透镜，其特征在于：所述均匀性补偿装置还包括匀光光学元件及反馈控制器；所述光源发出的光线经匀光光学元件、分光结构及中继透镜后，在基板上获得均匀照明视场；所述反馈控制器根据基板均匀性信号调节汞灯的位置和/或角度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 视场 拼接 照明 均匀 补偿 装置 | ||
【主权项】：
一种用于大视场拼接照明的均匀性补偿装置，沿光线传播的方向，依次包括：光源、出光口至少为两路的分光结构及与所述分光结构出光口数目一致的中继透镜，其特征在于：所述均匀性补偿装置还包括匀光光学元件，及反馈控制器；所述光源发出的光线经匀光光学元件、分光结构及中继透镜后，在基板上获得均匀照明视场；所述反馈控制器根据基板均匀性信号调节汞灯的位置和/或角度。
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